166 * 166 mm（M 6）用のPVDFウェーハキャリア

1。 1 00個のPVDFナノコーティングロッドスロットキャリア

2。側壁の寸法：2 16（長さ）* 2 05。5 （幅）* 554 （高さ）

側壁の厚さ 12 mm

側壁材輸入PVDF

3。歯ピッチ： 4。76 ±0。02 mm

4。キャリアの総重量≥3。4 kg

5。サイドロッドダイヤモンドの歯、ボトムロッドポリッシュロッド、インナーコアカーボンファイバーロッドは、PVDF素材、表面ナノフッ素処理、黒色で包まれています。

6。該当するシリコンウェーハサイズ：1 6 6 * 1 6 6 mm（M 6）

210 * 210 mm（M 12）対応のPVDFウェーハキャリア

1。 1 00個のPVDFナノコーティングロッドスロットキャリア

2。側壁の寸法：2 70（長さ）* 2 60（幅）* 700 （高さ）

側壁の厚さ： 16 mm

側壁素材：インポートされたPVDF

3。歯ピッチ： 6。3±0。02 mm

4。キャリアの総重量≥6。5 kg

5。サイドロッドには大きなダイヤモンド形の歯があり、ボトムロッドには大きな千鳥状の歯があり、内側のコアカーボンファイバーロッドはPVDF材料で覆われています。

表面ナノフッ素処理、黒色。

6。該当するシリコンウェーハサイズ： 210 * 210 mm（M 12）