モノシウエハースでは、158.75mmフルスクエアが今年下半期までに最も採用されたデザインになります。これより大きいウエハースを使用しているメーカーはごくわずかです。例えば、LGとハンファQセルズはM4ウエハー(161.7mm)を使用し、ロンギは166mmウエハースを推進しています。
最先端のフルスクエアモノウエハーは、正方形の尺度を拡大することにより、マルチウエハの同じレベルへの光暴露を最大化しました。ウエハーは常に完全に正方形であるため、PVモジュールに最適な方法でフィットします。
1 材料特性
財産 | 仕様 | 検査方法 |
成長法 | CZ | |
結晶 | 単結晶性 | 優等エッチング技術（ASTM F47-88） |
導電タイプ | N型 | ナップソン EC-80TPN |
ドーパント | 燐 | - |
酸素濃度[大井] | ≦8E +17 at/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
炭素濃度[Cs] | ≦5E +16 アット/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
エッチングピット密度(転位密度) | ≦500 cm-3 | 優等エッチング技術（ASTM F47-88） |
表面の向き | <100>±3° | X線回折法(ASTM F26-1987) |
擬似四角辺の向き | <010>,<001>±3° | X線回折法(ASTM F26-1987) |
2 電気特性
財産 | 仕様 | 検査方法 |
比 抵抗 | 0.3-2.1 Ω.cm 1.0-7.0 Ω.cm | ウエハ検査システム |
MCLT (マイノリティキャリアの寿命) | ≧1000 μs(抵抗率 0.3~2.1 Ω.cm) | シントン過渡現象 |
3 幾何学
財産 | 仕様 | 検査方法 |
幾何学 | フルスクエア | |
ウェーハ側の長さ | 158.75±0.25 mm | ウエハー検査システム |
ウェーハ径 | φ223±0.25mm | ウエハー検査システム |
隣接する辺の間の角度 | 90°± 0.2° | ウエハー検査システム |
厚さ | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | ウエハー検査システム |
TTV(総厚さ変動) | ≤27 μm | ウエハー検査システム |
4 サーフェスプロパティ
財産 | 仕様 | 検査方法 |
切削方法 | DW | -- |
表面品質 | カットおよびクリーニング、目に見える汚染(油やグリース、フィンガープリント、石鹸の汚れ、スラリー汚れ、エポキシ/接着剤の汚れは許可されていません) | ウエハー検査システム |
ソーマーク/ステップ | ≤ 15μm | ウエハー検査システム |
弓 | ≤ 40 μm | ウエハー検査システム |
縦糸 | ≤ 40 μm | ウエハー検査システム |
欠く | 深さ≤0.3mmおよび長さは0.5mm最大2/pcs≤。 Vチップなし | 裸眼またはウエハー検査システム |
マイクロクラック/穴 | 禁じられた | ウエハー検査システム |
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