多結晶太陽ウエハは、単結晶ウエハのそれよりも低コストの利点を有する。しかし一般に言えば多結晶ウエハは、単結晶ウエハの場合よりも電位効率が低い。
多結晶ウエハは、複数の小さなシリコン結晶からなる材料である。
1 材料特性
財産 | 仕様 | 検査方法 |
成長法 | 指向性固化 | XRD |
結晶 | 多 結晶 | 優等エッチング技術（ASTM F47-88） |
導電タイプ | Pタイプ | ナップソン EC-80TPN P/N |
ドーパント | 硼素 | - |
酸素濃度[大井] | ≦1E +17 at/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
炭素濃度[Cs] | ≦1E +18 at/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
2 電気特性
財産 | 仕様 | 検査方法 |
比 抵抗 | 0.5-2 Ωcm(アニール後) | ウエハ検査システム |
MCLT (マイノリティキャリアの寿命) | ≧2 μs | シントン QSSPC |
3 幾何学
財産 | 仕様 | 検査方法 |
幾何学 | 正方形または長方形 | ウエハ検査システム |
ベベル エッジの形状 | 線 | ウエハ検査システム |
ウエハーサイズ (側面の長さ*側面の長さ) | 156mm*156mm 157mm*186mm 166mm*166mm | ウエハ検査システム |
隣接する辺の間の角度 | 90±3° | ウエハ検査システム |
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