ダイヤモンドワイヤーソー（DWS）で製造されたソーラーシリコンウェーハ

ソーラーシリコンウェーハの製造は、単結晶または多結晶シリコン材料で作られた固体インゴットから始まります。 ワイヤーソーはインゴットを正方形のブロックに成形し、次にそれらを薄いウェーハにスライスします。 これらのウェーハは、アクティブPVセルのベースとして使用されます。

シリコンレンガを100〜190μmの厚さのウェーハにスライスするために使用されるダイヤモンドカッティングワイヤー。 したがって、ウェーハ生産における生産性の向上とコストの削減への主なアプローチは、シリコンの各レンガ、各作業シフト、および各マシンの歩留まりを向上させ、ダイヤモンドワイヤの消費を削減することです。

シリコンウェーハをスライスするために、固定研磨剤とスラリーベースを使用する方法があります。 固定研磨法によるダイヤモンドワイヤーを使用することで、人々はより短い処理時間で大量の高品質の薄いシリコンウェーハをスライスする技術を開発しました。

ダイヤモンドワイヤーの利点

固定研磨法によるダイヤモンドワイヤーを使用することで、処理時間を従来よりも短縮でき、ワイヤーの使用量を大幅に削減できます。 また、細線を使用することでスライスピッチを小さくすることができ、原材料のロスを低減できます。 また、スライス精度の向上や製造工程で発生する可能性のあるクラックや欠けの低減により、歩留まりの向上・安定化が見込めると同時に、製造時間の短縮が可能となります。大量生産をサポートします。

ダイヤモンドワイヤーソー（DWS）ウェーハの写真

表面下の損傷は、特徴的なラインを備えたカットされたままのソーラーウェーハをカバーします。表面/表面下の損傷は、切断中に発生する非常に大きな応力の結果です。 ワイヤーにかかる力はグリットに伝達され、それによってグリットがSi表面に埋め込まれます。

ダイマモンドワイヤーソーM12 / G12ソーラーウェーハ

ダイマモンドワイヤーソーM6ソーラーウェーハ

ダイマモンドワイヤーソーM4ソーラーウェーハ

ダイマモンドワイヤーソーG1 /158.75mmソーラーウェーハ

ダイマモンドワイヤーソーM2 /156.75mmソーラーウェーハ

特定の表面の特徴を引き起こすメカニズムは、表面の粗さに強い類似性を持つ損傷も生み出します。 したがって、損傷は、局所的な相変化、脆性破壊と微小劈開によって生成された微小亀裂、および塑性変形によって生成された転位を伴う方向性のある「引っかき傷」として現れます。